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DB44/T 1527-2015 微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法-广东省地方标准

DB44/T 1527-2015
广东省
现行

基础信息

标准号
DB44/T 1527-2015
发布日期
2015-01-30
实施日期
2015-04-30
制修订
制定
中国标准分类号
N53
国际标准分类号
71.040.01
技术归口
广东省质量技术监督局
批准发布部门
广东省质量技术监督局
行业分类
信息传输、软件和信息技术服务业
标准类别
方法标准

备案信息

备案号:47073-2015

备案公告:
2015年第10号(总第190号)

适用范围

本标准适用于扫描电子显微镜(SEM)图像清晰度的评价,涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中,评价方法包括傅里叶变换(FT)法、对比梯度(CG)法及微分(DR)法。

起草单位

广州计量检测技术研究院、金发科技股份有限公司

起草人

王潇潇、韦争亮、王海燕、张鹏、张洁、程庆、熊磊、汪立文

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