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标签:国家标准

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冶金

GB/T 32280-2015 硅片翘曲度测试自动非接触扫描法

适用范围 本标准规定了硅片翘曲度的非破坏性、自动非接触扫描测试方法。本标准适用于直径不小于50 mm,厚度不小于100 μm的洁净、干燥的切割、研磨、腐蚀、抛光、刻蚀、外延或其他表面状态硅片的翘曲度测试。本方法可用于监控因热效应和(或)...

冶金

GB/T 32279-2015 硅片订货单格式输入规范

适用范围 本标准规定了硅片订货单的格式要求和使用。本标准适用于硅单晶研磨片、硅单晶抛光片、硅单晶外延片、太阳能电池用硅单晶切割片、太阳能电池用多晶硅片的订货单格式,其他半导体材料的订货单可参照本标准执行。 基本信息 标准号:GB/T 3...

冶金

GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法

适用范围 本标准规定了碳化硅单晶抛光片的平整度,即总厚度变化(TTV)、局部厚度变化(LTV)、弯曲度(Bow)、翘曲度(Warp)的测试方法。本标准适用于直径为50.8 mm、76.2 mm、100 mm,厚度0.13 mm~1 mm...

机械

GB/T 3227-2008 螺栓螺母用装配工具 机动套筒工具的传动四方

适用范围 本标准规定了螺栓螺母用装配工具机动套筒工具的传动四方头和传动四方孔的型式、尺寸和标记。 本标准适用于螺栓螺母用装配工具机动套筒工具的传动四方,即传动四方头与传动四方孔(以下简称方头与方孔)。 基本信息 标准号:GB/T 3227...

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