GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮
适用范围 本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。 基本信...
适用范围 本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。 基本信...
适用范围 暂无 基本信息 标准号:GB/T 16944-1997 标准名称:电子工业用气体 氮 英文名称:Gases for electronic industry—Nitrogen 标准状态:被代替 发布日期:1997-08-13 实施日...
适用范围 本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦,以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。 分子式:...
适用范围 暂无 基本信息 标准号:GB/T 16943-1997 标准名称:电子工业用气体 氦 英文名称:Gases for electronic industry—Helium 标准状态:被代替 发布日期:1997-08-13 实施日期:...
适用范围 本标准规定了电子工业用氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。 基...
适用范围 暂无 基本信息 标准号:GB/T 16942-1997 标准名称:电子工业用气体 氢 英文名称:Gases for electronic industry—Hydrogen 标准状态:被代替 发布日期:1997-08-13 实施日...
适用范围 暂无 基本信息 标准号:GB/T 16941-1997 标准名称:流程工业用透平压缩机 设计、制造规范与数据表 英文名称:Compressors for the process industry—Turbo types—Speci...
适用范围 本标准规定了套筒型直线运动球轴承的定义、外形尺寸和公差。 本标准适用于表1所规定的尺寸范围。 基本信息 标准号:GB/T 16940-2012 标准名称:滚动轴承 套筒型直线球轴承 外形尺寸和公差 英文名称:Rolling be...
适用范围 暂无 基本信息 标准号:GB/T 16940-1997 标准名称:直线运动支承 直线运动球轴承 外形尺寸和公差 英文名称:Linear motion bearings—Linear motion ball bearings—Bou...
适用范围 本标准规定了钢网架螺栓球节点用高强度螺栓的型式尺寸、技术条件、标记、机械性能、试验方法、验收规则和标志与包装。本标准适用于螺纹规格为M12~M85×4钢网架螺栓球节点用高强度螺栓。 基本信息 标准号:GB/T 16939-2...