GB/T 26068-2010 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
适用范围 1.1 本方法适用于测量均匀掺杂、经过抛光处理的n型或p型硅片的载流子复合寿命。本方法是非破坏性、无接触测量。在电导率检测系统的灵敏度足够的条件下,本方法也可应用于测试切割或者经过研磨、腐蚀硅片的载流子复合寿命。 1.2 被测硅...
适用范围 1.1 本方法适用于测量均匀掺杂、经过抛光处理的n型或p型硅片的载流子复合寿命。本方法是非破坏性、无接触测量。在电导率检测系统的灵敏度足够的条件下,本方法也可应用于测试切割或者经过研磨、腐蚀硅片的载流子复合寿命。 1.2 被测硅...
适用范围 1.1 本标准定性的提供了判定硅片基准切口是否满足标准限度要求的非破坏性测试方法。本方法的测试原理同样适用于其他切口尺寸的测量。 1.2 本标准中物体平面尺寸为0.1mm时,通过20倍的放大后会在投影屏上形成2.0mm的影像,通...
适用范围 本标准规定了用热氧化和化学择优腐蚀技术检验抛光片或外延片表面因沾污造成的浅腐蚀坑的检测方法。 本标准适用于检测〈111〉或〈100〉晶向的p型或n型抛光片或外延片,电阻率大于0.001 Ω·cm。 基本信息 标准号:GB/T 2...
适用范围 1.1 本标准规定了半导体器件制备中用作检验和工艺控制的硅单晶试验片的技术要求。 1.2 本标准涵盖尺寸规格、结晶取向及表面缺陷等特性要求。本标准涉及了50.8 mm~300 mm所有标准直径的硅抛光试验片技术要求。 1.3 ...
适用范围 本标准规定了锂圆片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。 本标准适用于以电池级金属锂为原料,经挤压、冲制制得的供锂锰及其他锂系列扣式电池用的锂圆片。 基本信息 标准号:GB/T ...
适用范围 本标准规定了铍铝合金的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。 本标准适用于由粉末冶金工艺或由真空熔铸工艺生产的铍含量在60%~69%的铍铝合金产品。 基本信息 标准号:GB/T 2...
适用范围 本标准规定了铌及铌锆合金丝的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。 本标准适用于冷拉方法生产的铌及铌锆合金圆形丝材。 基本信息 标准号:GB/T 26062-2010 标准名称:铌...
适用范围 本标准规定了钽铌复合碳化物的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。 本标准适用于五氧化二钽(或钽粉)、五氧化二铌碳热还原法制得的钽铌复合碳化物。该产品用于生产硬质合金。 基本信息 ...
适用范围 本标准规定了钛及钛合金铸锭的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容等。 本标准适用于真空自耗电弧炉(VAR)、电子束冷床炉(EBCHM)生产的钛及钛合金圆型铸锭和矩形扁锭。 基本信息...
适用范围 本标准规定了钛及钛合金网板的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同(或订货单)内容等。 本标准适用于各种用途的、以板材冷冲成形的钛及钛合金网板。 基本信息 标准号:GB/T 26059-2010 标准名称:钛及钛...