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电子元器件与信息技术 第288页

GB/T 15872-2013 半导体设备电源接口

适用范围 本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别,选择电器附件、导线和电缆的要求等。 本标准适用于半导体设备的电源接口。 基本信息 标准号:GB/T 15872-2013 标准名称:半导体设备电源接口 英文名称:Power supply...

GB/T 15872-1995 半导体设备电源接口

适用范围 暂无 基本信息 标准号:GB/T 15872-1995 标准名称:半导体设备电源接口 英文名称:Power supply interface for semiconductor equipment 标准状态:被代替 发布日期:19...

GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

适用范围 暂无 基本信息 标准号:GB/T 15871-1995 标准名称:硬面光掩模基板 英文名称:Hard surface photomask substrates 标准状态:现行 发布日期:1995-12-22 实施日期:1996-0...

GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

适用范围 暂无 基本信息 标准号:GB/T 15870-1995 标准名称:硬面光掩模用铬薄膜 英文名称:Chrome thin films for hard surface photomasks 标准状态:现行 发布日期:1995-12-...

GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范

适用范围 本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。 基本信息 标准号:GB/T 15862-2012 标准名称:离子注...

GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件

适用范围 暂无 基本信息 标准号:GB/T 15862-1995 标准名称:离子注入机通用技术条件 英文名称:Generic specification for ion implantation equipment 标准状态:被代替 发布日...

GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

适用范围 本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。 基本信息 标准号:GB/T 15861-2012 ...

GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件

适用范围 暂无 基本信息 标准号:GB/T 15861-1995 标准名称:离子束蚀刻机通用技术条件 英文名称:Generic specification of ion beam etching system 标准状态:被代替 发布日期:1...

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