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化工 第434页

GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧

适用范围 本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻...

GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧

适用范围 暂无 基本信息 标准号:GB/T 14604-1993 标准名称:电子工业用气体 氧 英文名称:Gases for electronic industry—Oxygen 标准状态:被代替 发布日期:1993-08-26 实施日期:...

GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼

适用范围 本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。...

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